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凈化有機廢氣處理(在外加電場(chǎng)的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學(xué)反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉變成無(wú)毒無(wú)害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。
   然后部分凈化有機廢氣處理再通過(guò)破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無(wú)毒無(wú)害無(wú)味氣體。采用高能C波段光線(xiàn)強裂污染氣體分子鏈，改變物質(zhì)分子結構，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化成為低分子無(wú)害物質(zhì)，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子無(wú)害物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，強化催化氧化作用。在分解過(guò)程中產(chǎn)生高能高臭氧UV紫外線(xiàn)光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果。O3也為強催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過(guò)臭氧進(jìn)行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅菌的目的。