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低溫等離子廢氣處理技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著(zhù)。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當電子平均能量超過(guò)目標治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達到消除氣態(tài)污染物的目的。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學(xué)反應過(guò)程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學(xué)能量在反應過(guò)程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場(chǎng)＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過(guò)程可以看出，低溫等離子廢氣設備電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類(lèi)負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應中起著(zhù)重要的作用。